|
新聞詳情
國家重大科學(xué)儀器設備開(kāi)發(fā)項目在上海自?xún)x股份公司啟動(dòng)11月25日,由上海自動(dòng)化儀表股份有限公司www.shybdj6.net承擔的國家“十三五”重點(diǎn)研發(fā)計劃重大科學(xué)儀器設備開(kāi)發(fā)項目 《超光滑表面無(wú)損檢測儀》正式啟動(dòng)。 該儀器主要用于高精度非接觸測量,可以廣泛應用于高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路、半導體制造、半導體照明以及太陽(yáng)能新能源電池等基片TTV、彎曲度、表面質(zhì)量等關(guān)鍵參數的快速檢測,還可應用于大型現代光學(xué)工程系統,如大型高功率固體激光系統、極紫外光刻、航空航天空間光學(xué)等領(lǐng)域中大口徑元件面形、材料特性等參數測量。 |