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氣體質(zhì)量流量計和氣體質(zhì)量流量控制器的區分1、 質(zhì)量流量計,質(zhì)量流量控制器的概念 上海自動(dòng)化儀表有限公司質(zhì)量流量計,即Mass Flow Meter (MFM),是一種準確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準,不需要溫度壓力補償。 質(zhì)量流量控制器,即Mass Flow Controller (MFC),不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動(dòng)控制氣體流量,即用戶(hù)可根據需要進(jìn)行流量設定,MFC自動(dòng)地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,也不會(huì )使其偏離設定值。質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩流裝置,是一個(gè)可以手動(dòng)設定或與計算機連接自動(dòng)控制的氣體穩流裝置。 簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),質(zhì)量流量計只測量不控制。而質(zhì)量流量控制器,則帶有控制閥門(mén),既可以測量也可以控制氣體流量大小。 2、 質(zhì)量流量計,質(zhì)量流量控制器的流量單位 氣體質(zhì)量流量單位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute)和SLM (Standard Liter per Minute) 來(lái)表示,亦即每分鐘標準毫升、每分鐘標準升。這意味著(zhù),這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。這是這種儀表和其它流量計的重要區別,也是SCCM、SLM不同于Ml/min、L/min之處。 如果需要單位時(shí)間內流過(guò)的質(zhì)量(如g/min),可以查閱標準狀態(tài)下的氣體密度,然后作乘法就可以了。 3、質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的主要的優(yōu)點(diǎn) (1) 直接測量氣體的質(zhì)量流量 熱式質(zhì)量流量計直接測量流體質(zhì)量流量,輸出質(zhì)量流量信號,無(wú)需其他設備,如溫度測試儀和壓力表,也無(wú)需進(jìn)行換算。 (2) 無(wú)可移動(dòng)部分 本身無(wú)類(lèi)似轉軸等的移動(dòng)部件,增加了本身的可靠性,無(wú)需機械維護。 (3) 可以準確的測量微小流量,采用分流裝置,又可以測量大流量,而且溫度,壓力范圍很大。 (4) 測量控制的自動(dòng)化 質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實(shí)現對流量的數字顯示,流量自動(dòng)計量,數據自動(dòng)記錄,計算機管理等。對質(zhì)量流量控制器而言,還可以實(shí)現流量的自動(dòng)控制。通常,?模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA,?數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口,?能非常方便地與計算機連接,?進(jìn)行自動(dòng)控制。 (5) 準確地定量控制流量 上海自動(dòng)化儀表有限公司質(zhì)量流量控制器可以準確地控制氣體的給定量,這對很多工藝過(guò)程的流量控制,是用于對于不同氣體的比例控制等。 (6) 準確度高,重復性好 準確度可達+-1%F.S(full scale)重復性為+-0.25%F.S(full scale) (7) 體積小巧,安裝方便,操作簡(jiǎn)單 (8) 技術(shù)先進(jìn),符合發(fā)展潮流 |